微納加工平臺（蘇州）于2009年1月起正式對外服務，集微米、納米加工和檢測于一體，服務領域包括微納米電子器件、光電子器件、微納光機電系統(tǒng)、生物傳感器及生物芯片、化合物半導體器件等。
裝備建設投資2億多
工藝大型設備百余臺套（包括工藝加工、工藝測試和器件封裝）
超凈實驗室5500平方米
支撐服務團隊102人，其中研究員5人，副研究員17人
年均服務企業(yè)100余家，大學、研究所200余家
對外服務總機時70396小時，對外服務收入3561萬元，對外培訓2022人次
中國科學院納米器件平臺、江蘇省納米技術產業(yè)產學研聯合創(chuàng)新載體、江蘇省納米加工平臺、國家自然科學基金重大研究計劃納米制造的基礎研究聯合開放實驗室
微納加工平臺（南昌）結合南昌產業(yè)需求，建設定位：應用基礎和具有應用前景的科學與技術研究，集微米、納米加工和檢測手段于一體，具有先進的、有特色的加工裝備的研究基地；具有開發(fā)微納電子器件、微納光電子器件、微納光機電系統(tǒng)、生物傳感器及生物芯片等多功能的技術支撐體系；具有孵化器功能，為企業(yè)全方位開放的服務體系；
微納加工平臺-超凈環(huán)境
微納加工平臺-開放特色
